Redigerer Sekundær ionemassespektrometri (avsnitt)

== Deteksjonsgrenser og nedbrytning av prøven ==
Deteksjonsgrensen for de fleste sporstoffer er mellom 10<sup>12</sup> og 10<sup>16</sup> atomer per kubikkcentimeter,<ref>{{Kilde www|url=http://www.eaglabs.com/files/appnotes/AN339.pdf|tittel=SIMS Detection Limits of Selected Elements in Si and SiO2 Under Normal Depth Profiling Conditions|dato=04.05.2007|forlag=Evans Analytical Group|besøksdato=2021-03-11|arkiv-dato=2007-10-09|arkiv-url=https://web.archive.org/web/20071009011648/http://www.eaglabs.com/files/appnotes/AN339.pdf|url-status=død}}</ref> avhengig av hvilken type instrumentering som er brukt, den primære ionestrålen som brukes og det analytiske området og andre faktorer. Prøver så små som individuelle pollenkorn og mikrofossiler kan gi resultater ved denne teknikken.<ref>{{Kilde artikkel|tittel=High CO 2 levels in the Proterozoic atmosphere estimated from analyses of individual microfossils|publikasjon=Nature|doi=10.1038/nature01902|url=https://www.nature.com/articles/nature01902|dato=September 2003|fornavn=Alan J.|etternavn=Kaufman|etternavn2=Xiao|fornavn2=Shuhai|serie=6955|språk=en|bind=425|sider=279–282|issn=1476-4687|besøksdato=2021-03-11}}</ref>

Mengden overflate skapt av prosessen avhenger av strømmen (pulserende eller kontinuerlig) og dimensjonene til den primære ionestrålen. Mens bare ladede sekundære ioner som sendes ut fra materialoverflaten gjennom sputteringsprosessen, brukes til å analysere den kjemiske sammensetningen av materialet, representerer disse en liten brøkdel av partiklene som sendes ut fra prøven.