Redigerer Sekundær ionemassespektrometri (avsnitt)

== Historie ==
I 1910 observerte den britiske fysikeren [[Joseph John Thomson|J. J. Thomson]] en frigjøring av positive ioner og nøytrale atomer fra en fast overflate indusert av ionebombardement.<ref>{{Kilde artikkel|tittel=LXXXIII. Rays of positive electricity|publikasjon=The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science|doi=10.1080/14786441008636962|url=https://www.tandfonline.com/doi/full/10.1080/14786441008636962|dato=Oktober 1910|fornavn=J.J.|etternavn=Thomson|serie=118|språk=en|bind=20|sider=752–767|issn=1941-5982|besøksdato=2021-03-11}}</ref> Forbedret vakuumpumpeteknologi på 1940-tallet muliggjorde de første prototypeeksperimentene på SIMS av Herzog og Viehböck<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Ion Source for Mass Spectrography|publikasjon=Physical Review|doi=10.1103/PhysRev.76.855|url=https://link.aps.org/doi/10.1103/PhysRev.76.855|dato=1949-09-15|fornavn=R. F. K.|etternavn=Herzog|etternavn2=Viehböck|fornavn2=F. P.|serie=6|språk=en|bind=76|sider=855–856|issn=0031-899X|besøksdato=2021-03-11}}</ref> i 1949, ved [[Universitetet i Wien]], Østerrike. På midten av 1950-tallet konstruerte Honig et SIMS-instrument ved RCA Laboratories i [[Princeton]], New Jersey.<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Sputtering of Surfaces by Positive Ion Beams of Low Energy|publikasjon=Journal of Applied Physics|doi=10.1063/1.1723219|url=http://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.1723219|dato=Mars 1958|fornavn=Richard E.|etternavn=Honig|serie=3|språk=en|bind=29|sider=549–555|issn=0021-8979|besøksdato=2021-03-11}}</ref> Så tidlig som på 1960-tallet ble to SIMS-instrumenter utviklet uavhengig. Det ene var et amerikansk prosjekt, ledet av Liebel og Herzog, som ble sponset av [[NASA]] ved GCA Corp, Massachusetts, for å analysere [[Stein fra månen|månestein]],<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Ion Microprobe Mass Analyzer|publikasjon=Journal of Applied Physics|doi=10.1063/1.1709314|url=http://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.1709314|dato=Desember 1967|fornavn=Helmut|etternavn=Liebl|serie=13|språk=en|bind=38|sider=5277–5283|issn=0021-8979|besøksdato=2021-03-11}}</ref> det andre ved University of Paris-Sud i Orsay av R. Castaing for doktorgradsavhandlingen av G. Slodzian.<ref>{{Kilde bok|tittel=Optique corpusculaire-premiers essais de microanalyse par emission ionique secondaire|etternavn=Castaing, Raymond, and G. Slodzian|utgiver=Comptes Rendus Hebdomadaires Des Seances De L Academie Des Sciences|år=1893}}</ref> Disse første instrumentene var basert på et magnetisk dobbeltfokuseringsfeltmassespektrometer og brukte [[argon]] for de primære stråleionene. På 1970-tallet utviklet K. Wittmaack og C. Magee SIMS-instrumenter utstyrt med [[Kvadrupol-massespektrometer|kvadrupol-masseanalysatorer]].<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Pre-equilibrium variation of the secondary ion yield|publikasjon=International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics|doi=10.1016/0020-7381(75)80005-2|url=https://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0020738175800052|dato=Mai 1975|fornavn=K.|etternavn=Wittmaack|serie=1|språk=en|bind=17|sider=39–50|besøksdato=2021-03-11}}</ref><ref>{{Kilde artikkel|tittel=Secondary ion quadrupole mass spectrometer for depth profiling—design and performance evaluation|publikasjon=Review of Scientific Instruments|doi=10.1063/1.1135438|url=http://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.1135438|dato=April 1978|fornavn=Charles W.|etternavn=Magee|etternavn2=Harrington|fornavn2=William L.|etternavn3=Honig|fornavn3=Richard E.|serie=4|språk=en|bind=49|sider=477–485|issn=0034-6748|besøksdato=2021-03-11}}</ref> Rundt samme tid introduserte A. Benninghoven metoden for statisk SIMS, der den primære ionestrømtettheten er så liten at bare en ubetydelig brøkdel (typisk 1%) av det første overflatelaget er nødvendig for overflateanalyse.<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Analysis of Submonolayers on Silver by Negative Secondary Ion Emission|publikasjon=physica status solidi (b)|doi=10.1002/pssb.19690340267|url=http://doi.wiley.com/10.1002/pssb.19690340267|dato=1969|fornavn=A.|etternavn=Benninghoven|serie=2|språk=de|bind=34|sider=K169–K171|besøksdato=2021-03-11}}</ref> Instrumenter av denne typen bruker pulserende primære [[Ionekilde|ionkilder]] og [[Flyvetidsmassespektrometri|flyvetidsmassespektrometere]], det ble utviklet av Benninghoven, Niehuis og Steffens ved [[Westfälische Wilhelms-Universität Münster|Universitetet i Münster]], Tyskland og også av Charles Evans & Associates. Castaing- og Slodzian-designet ble utviklet på 1960-tallet av det franske selskapet CAMECA S.A.S. og brukt i [[materialvitenskap]] og overflatevitenskap. Nyere utvikling fokuserer på nye primære ionearter som C<sub>60</sub><sup>+</sup>, ioniserte klynger av [[gull]] og [[vismut]],<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Sputter-depth profiling for thin-film analysis|publikasjon=Philosophical Transactions of the Royal Society of London. Series A: Mathematical, Physical and Engineering Sciences|doi=10.1098/rsta.2003.1304|url=https://royalsocietypublishing.org/doi/10.1098/rsta.2003.1304|dato=2004-01-15|fornavn=S.|etternavn=Hofmann|redaktør-fornavn=M. W.|redaktør-etternavn=Thompson|redaktør2-etternavn=Colligon|redaktør2-fornavn=J. S.|redaktør3-etternavn=Smith|redaktør3-fornavn=R.|serie=1814|språk=en|bind=362|sider=55–75|issn=1364-503X|besøksdato=2021-03-11}}</ref> eller store gassklyngionstråler (f.eks. Ar<sub>700</sub><sup>+</sup>).<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Precise and fast secondary ion mass spectrometry depth profiling of polymer materials with large Ar cluster ion beams: Depth profiling of polymers with large Ar cluster ion beams|publikasjon=Rapid Communications in Mass Spectrometry|doi=10.1002/rcm.4046|url=http://doi.wiley.com/10.1002/rcm.4046|dato=2009-06-15|fornavn=Satoshi|etternavn=Ninomiya|etternavn2=Ichiki|fornavn2=Kazuya|etternavn3=Yamada|fornavn3=Hideaki|etternavn4=Nakata|fornavn4=Yoshihiko|etternavn5=Seki|fornavn5=Toshio|etternavn6=Aoki|fornavn6=Takaaki|etternavn7=Matsuo|fornavn7=Jiro|serie=11|språk=en|bind=23|sider=1601–1606|besøksdato=2021-03-11}}</ref> Den følsomme høyoppløselige ionemikroben (SHRIMP) er et SIMS-sektorinstrument med stor diameter, basert på Liebl og Herzog-design, og produsert av Australian Scientific Instruments i [[Canberra]], Australia.